调制周期对CrAI/CrAIN 多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响
2021-11-05 15:43:27
作者：吕艳红，吉利，刘流，李红轩，刘晓红，陈建敏，周惠娣 来源：中国表面工程
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标签： 磁控溅射, CrA1/CrAIN, 多层薄膜, 微观结构, 耐腐蚀性能
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