清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室（以下简称“实验室”），前身为1988年成立的摩擦学国家重点实验室，自2018年开始筹备改革，2022年5月24日经科技部批准建设。实验室面向国家在重点型号和重大工程中高性能IC装备等高端装备精度、效率、可靠性和寿命正向设计理论和核心关键基础技术“卡脖子”问题和长期发展重大战略需求，针对其运动界面服役行为规律与机理及其界面性能正向设计理论，开展与极端工况运动界面行为相关的应用基础研究，将实验室建设成为以IC装备为特色的高端装备高性能运动界面科学与技术策源地，孕育重大原始创新，提出原创性新概念、新原理、新方法，围绕化学机械抛光和光刻机双工件台等装备关键技术形成持续创新能力。

高端装备界面科学与技术全国重点实验室作为面向国内外的开放性实验室，为提升应用基础理论研究技术水平，产出高水平研究成果，通过科学基金的方式资助国内外学者和科研人员来实验室从事研究和学术交流。实验室每年公开受理一次开放基金项目申请，凡经过学术委员会批准的申请项目，实验室为申请者提供必需的课题经费以及相应的科学研究条件。申请人请在申请之前需认真阅读本指南。

实验室围绕IC制造核心界面技术与装备、尖端装备核心界面技术与正向设计理论两大研究方向开展基础研究和应用基础研究。2024年度重点支持以下5个技术领域的相关研究：摩擦学理论与技术、机械表面/界面科学与性能控制、生物摩擦学与生医机械、微纳制造理论与技术、运载与能源装备关键零部件设计与制造技术。

1. 摩擦学理论与技术：

包括：摩擦、磨损与润滑；纳米摩擦学；薄膜润滑与分子膜润滑理论和技术；摩擦控制；摩擦化学；磨损机理及其控制技术等。

2. 机械表界面科学与技术：

包括：表面形貌的设计和效应；表面界面行为；表面涂层 / 薄膜；密封；机械振动与控制；智能机械等。

3. 生物摩擦学与生医机械：

包括：生物机械学；仿生与生物摩擦学；生医机械等。

4. 微纳制造理论与技术：

包括：纳米精度制造装备及工艺；原子级光滑表面制备技术；微机械材料力学性能与失效机制；微机械系统设计理论、制造和控制技术。

5. 运载与能源装备关键零部件设计与制造技术：

包括：航发主轴承设计与制造技术；宽温域耐磨涂层与密封技术；航空航天结构柔性制造技术与装备。

针对上述5个技术领域所涉及的多个研究方向中，为更好高效地提供科研条件和促进学科发展，特设立优先资助方向和鼓励研究方向两部分：

A 优先资助方向：

包括：纳米精度制造装备及工艺；原子级光滑表面制备技术；润滑机理与材料；生医装备；界面粘附与控制；极端工况摩擦学理论和技术；核心基础零部件摩擦学。

B 鼓励研究方向：

包括：高效润滑油添加剂；减摩耐磨及摩阻材料；控制摩擦与磨损的新原理、新方法、新技术；生物摩擦学；高温摩擦学与高温润滑材料；摩擦学与环境；加工过程中的摩擦学。

1. 资助对象：

1) 本基金面向重点实验室非固定人员。申请人应与重点实验室固定人员有合作关系，申请书由重点实验室固定人员递交秘书处，每年每位固定人员仅可递交一份申请书。

2) 申请者只能申请一项，在研的本基金项目数不得超过一项。

2. 资助类型： 

重点项目：每项资助额度10万元左右，执行期限为3年。

自由申请项目：每项资助额度3~5万元，执行期限为2年。

3.申请程序： 

凡申请本开放基金项目者须填写本申请书。将填写好的申请书电子版通过电子邮件发给学术委员会秘书。（注：所有申请材料一律通过电子邮件发送）申请书每年受理一次，截止日期为每年八月三十一日。所有申请均由清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室学术委员会进行评审。评审结果于当年的十二月三十一日前以书面形式通知申请人。

1）项目批准后，实验室固定人员应配合课题负责人完成项目执行和经费使用事宜。

2) 项目资助经费主要用于高端装备界面科学与技术全国重点实验室仪器设备机时使用费。

联系人：

高端装备界面科学与技术全国重点实验室

地址：

北京市海淀区清华大学李兆基科技楼A423

邮编：100084

邮箱：skltfund@163.com

电话：010-62771756