氮分压对金属铀表面CrN薄膜结构与腐蚀性能的影响
2014-08-15 10:34:12 作者:本站整理来源:
 朱生发*,吴艳萍*,刘天伟+,唐凯*,魏强*
*(中国工程物理研究院,绵阳 621900)+(表面物理与化学重点实验室,绵阳 621700)

  摘要:金属铀具有独特的核性能,在核工业领域得到广泛应用,但其化学性质十分活泼,在高湿和盐雾环境中极易遭受腐蚀,因而解决铀的易腐蚀问题已成为其应用的关键工程技术之一。早在上世纪60年代, Bland 等采用蒸发镀、磁控溅射离子镀等技术在铀表面制备Al、Cu、Ni等镀层,取得了一定的效果。我国从20 世纪末开始铀表面磁控溅射镀铝、铝钛复合镀层,多弧镀Ti/TiN多层膜, 有效改善了基体的抗腐蚀性能。CrN薄膜具有更高的硬度, 良好耐磨性、抗氧化、抗腐蚀性能,更低的内应力。因此,本工作采用磁控溅射技术在金属铀表面制备CrN薄膜, 采用扫描电镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱及动电位极化曲线研究氮分压对CrN薄膜组织结构与腐蚀性能的影响。

  实验结果与分析:

  采用SEM对薄膜断面形貌分析表明,当氮分压较小时,生成的薄膜呈纤维状结构,当氮分压增大到9.2×10-2 Pa时,薄膜的致密性明显增加,柱状晶基本消失,进一步增大氮分压,生成的薄膜结构又逐渐呈现柱状晶形貌,与氮流量较低时的结构非常相似。

  XRD图谱分析发现,随着氮分压的变化,薄膜的物相结构由不同比例的立方相Cr、六方Cr2N和立方CrN构成。在较低氮分压时,薄膜主要为体心立方的α-Cr.与无氮环境下制备的金属Cr膜相比,其衍射峰强度减小,半高宽增大,其衍射峰位向低角度方向发生了偏移,这可能是由于薄膜中氮含量的增加,造成薄膜的晶格发生膨胀和变形所致。当氮分压增大到9.2×10-2 Pa时,形成了Cr2N,当氮分压继续增大时, 产生的氮离子增多, 氮离子与Cr离子反应较充分, 生成的薄膜为Cr2N+CrN混合相。

  XPS分析表明,当氮分压较低时,薄膜中氮原子的含量约为10at%,随着氮分压的增大,薄膜表面的Cr元素的含量下降,而氮元素的含量呈线性增加,当氮分压增大到9.2×10-2 Pa时,  氮原子的相对含量达到30at%.XRD分析发现薄膜中生成了Cr2N相,这与Cr-N二元平衡相图的结果基本一致。

  电化学极化曲线测试表明,在金属铀表面制备一层CrN薄膜后,其极化曲线发生正移,自然腐蚀电位增大,腐蚀电流密度明显降低,在氮分压为9.2×10-2 Pa时获得的薄膜的自然腐蚀电位提高了近550 mV左右,腐蚀电流密度降低约两个数量级,薄膜表面出现“伪钝化”现象,其击穿电位大幅提高,有效改善了贫铀表面的抗腐蚀性能。

  结论:

  采用磁控溅射技术在金属铀表面制备了CrN薄膜,氮分压对薄膜的致密性具有较大的影响,薄膜结构随着氮分压的变化而变化,镀膜金属铀的腐蚀电位大幅提高,腐蚀电流密度急剧下降,有效改善了贫铀的抗腐蚀性能。

  关键词:金属铀,氮分压,薄膜,腐蚀性能

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