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金刚石薄膜在第一壁材料表面的应力研究
2022-12-21 15:24:07
作者:耿传文,赵鹏,张晓东,曾梅花,Miroljub Viloti
来源:表面技术
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标签:
金刚石薄膜
,
第一壁材料
,
应力
,
等离子体
,
钨穿管部件
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